检测项目(部分)
缺陷检测、表面检测、衬底检测、键合检测、电性检测等。
- 直径:测量晶圆的直径,用于确定其尺寸。
- 厚度:测量晶圆的厚度,以检测其薄度和稳定性。
- 平整度:检查晶圆表面的平整度,以确保其质量和性能。
- 表面粗糙度:测量晶圆表面的粗糙度,以检测其光学和电学性能。
- 晶格结构:分析晶圆的晶格结构,以确定其晶体结构和晶体缺陷。
- 掺杂浓度:测量晶圆中的掺杂元素浓度,以检测其电学性能。
- 电阻率:测量晶圆的电阻率,以检测其导电性能。
- 载流子浓度:分析晶圆中的载流子浓度,以检测其半导体特性。
- 光学透过率:测量晶圆的光学透过率,以检测其光学性能。
- 表面反射率:测量晶圆表面的反射率,以检测其光学性能。
- 杂质检测:测试晶圆中的杂质元素,以检测其纯度。
- 晶圆形状:检查晶圆的形状和边缘,以检测其几何特性。
- 晶圆定位:确定晶圆的定位和对准方式,以确保准确的加工和测试。
- 热膨胀系数:测量晶圆的热膨胀系数,以检测其热稳定性。
- 晶圆扁平度:检查晶圆的扁平度,以检测其平整性。
- 晶圆清洁度:测试晶圆表面的清洁度,以确保其无尘和无污染。
- 晶圆颜色:检查晶圆的颜色,以检测其质量和纯度。
- 晶圆密度:测量晶圆的密度,以检测其物理特性。
- 晶圆硬度:测试晶圆的硬度,以检测其耐磨性和耐刮擦性。
- 晶圆抗弯性能:测试晶圆的抗弯性能,以确定其结构强度。
检测样品(部分)
晶圆、半导体晶圆、硅晶圆等。
- 硅晶圆
- 砷化镓晶圆
- 磷化镓晶圆
- 氮化镓晶圆
- 碳化硅晶圆
- 锗晶圆
- 硒化锌晶圆
- 硒化镉晶圆
- 铜铟镓硒薄膜晶圆
- 钙钛矿晶圆
- 钠钾镁钕磷酸盐晶圆
- 铁电晶圆
- 锂离子电池正极材料晶圆
- 太阳能电池晶圆
- LED芯片晶圆
- 半导体器件晶圆
- 光学元件晶圆
- 微机电系统(MEMS)晶圆
- 生物芯片晶圆
- 光纤通信器件晶圆

检测仪器(部分)
- 显微镜
- 光谱仪
- 表面粗糙度仪
- 导电性测试仪
- 探针站
- 薄膜测量仪
- 电子束曝光机
- 拉曼光谱仪
- 电子显微镜
- 离子注入机

检测方法(部分)
- 光学显微镜检测法:使用显微镜观察晶圆表面和结构。
- X射线衍射分析法:通过X射线衍射仪分析晶圆的晶体结构。
- 拉曼光谱分析法:使用拉曼光谱仪分析晶圆的化学成分和晶格振动。
- 电子显微镜检测法:使用电子显微镜观察晶圆的微观结构和缺陷。
- 电阻率测量法:测量晶圆的电阻率,以检测其导电性。
- 掺杂浓度测量法:使用掺杂浓度测试仪测量晶圆中的掺杂元素浓度。
检测标准(部分)
SJ 21242-2018 晶圆凸点电镀设备通用规范
SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
T/JSSIA 0006-2021 晶圆级扇出型封装外形尺寸
GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆
GB/T 33657-2017 纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范
GB/T 40123-2021 高纯净细晶铝及铝合金圆铸锭
GB/T 26044-2010 信号传输用单晶圆铜线及其线坯
T/JSSIA 0004-2017 晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)外形尺寸
T/JSSIA 0003-2017 晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)系列型谱
DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额
T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
DB31/ 506-2010 集成电路晶圆制造能源消耗限额
JY/T 008-1996 四圆单晶X射线衍射仪测定小分子化合物的晶体及分析结构分析方法通则
YB/T 072-2011 方坯和圆坯连铸结晶器
YB/T 4141-2005 连铸圆坯结晶器铜管 技术条件

检测优势
检测资质(部分)




检测实验室(部分)
合作客户(部分)





检测报告作用
1、可以帮助生产商识别产品的潜在问题或缺陷,并及时改进生产工艺,保障产品的品质和安全性。
2、可以为生产商提供科学的数据,证明其产品符合国际、国家和地区相关标准和规定,从而增强产品的市场竞争力。
3、可以评估产品的质量和安全性,确保产品能够达到预期效果,同时减少潜在的健康和安全风险。
4、可以帮助生产商构建品牌形象,提高品牌信誉度,并促进产品的销售和市场推广。
5、可以确定性能和特性以及元素,例如力学性能、化学性质、物理性能、热学性能等,从而为产品设计、制造和使用提供参考。
6、可以评估产品是否含有有毒有害成分,以及是否符合环保要求,从而保障产品的安全性。
检测流程
1、中析研究所接受客户委托,为客户提供检测服务
2、客户可选择寄送样品或由我们的工程师进行采样,以确保样品的准确性和可靠性。
3、我们的工程师会对样品进行初步评估,并提供报价,以便客户了解检测成本。
4、双方将就检测项目进行详细沟通,并签署保密协议,以保证客户信息的保密性。在此基础上,我们将进行测试试验.
5、在检测过程中,我们将与客户进行密切沟通,以便随时调整测试方案,确保测试进度。
6、试验测试通常在7-15个工作日内完成,具体时间根据样品的类型和数量而定。
7、出具检测样品报告,以便客户了解测试结果和检测数据,为客户提供有力的支持和帮助。
以上为晶圆检测的检测内容,如需更多内容以及服务请联系在线工程师。