俄歇电子能谱检测：揭示物质表面奥秘的科学技术

国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 测定峰强度的方法和报告结果所需的信息》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本文件规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的峰强度测量的分析结果报告中所要求的必要信息，也提供了峰强度测量方法和导出的峰面积不确定度的信息。

行业标准《俄歇电子能谱术语和X射线光电子谱术语的样品处理标准导则》，主管部门为电子工业部。本标准导则适用于俄歇电子能谱术(AES)和X射线光电子能谱术(XPS)，也适用于其他表面灵敏分析技术。本标准导则可能涉及有害的操作、设备及物质，但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前，应该制定适当的安全与保健措施，并确定本导则的应用范围。

行业标准《俄歇电子能谱术语深度剖析标准导则》，主管部门为电子工业部。本标准导则适用于采用磨角与截面法、球抗法、离子测射法、非破坏性深度剖析法进行俄歇电子能谱术尝试剖析。本标准导则可能涉及有害的物品、操作及设备。但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前，应该制定适当的安全与保健措施，并确定本导则的范围。

行业标准《俄歇电子能谱术元素鉴定方法》，主管部门为机械工业部。本标准规定了利用普通电子能谱仪所得的俄歇电子能谱术元素鉴定的方法。本标准适用于电子或X射线照射样品表面所产生的俄歇谱。本标准不适用于离子激发所产生的俄歇谱。

国家标准《表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本文件规定了一种通过测定溅射速率校准材料溅射深度的方法，即在一定溅射条件下测定一种具有单层或多层膜参考物质的溅射速率，用作相同材料膜层的深度校准。当使用俄歇电子能谱（AES）、X射线光电子能谱（XPS）和二次离子质谱（SMS）进行深度分析时，这种方法对于厚度在20nm~200nm 之间的膜层具有5%~10%的准确度。溅射速率是由参考物质相关界面间的膜层厚度和溅射时间决定。使用已知的溅射速率并结合溅射时间，可以得到被测样品的膜层厚度。测得的离子溅射速率可用于预测各种其他材料的离子溅射速率，从而可以通过溅射产额和原子密度的表值估算出这些材料的深度尺度和溅射时间。

国家标准《表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%，微分模式调制幅度的峰值为2eV，配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。

国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息的解析》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本指导性技术文件规定了识别X射线或者电子激发的俄歇谱中的化学效应以及把它们用于化学表征的方法准则。

国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱（AES）数据记录与报告的规范要求》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本标准规定了分析者使用俄歇电子能谱(AES)分析试样后随即应报告信息的最低要求，包括原始记录和分析记录的信息。

国家标准《硅酸盐中微颗粒铁的化学态测定 俄歇电子能谱法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本标准规定了硅酸盐中微颗粒铁的识别及其含量测量的俄歇电子能谱方法。本标准适用于30nm以上微颗粒铁的测量。

国家标准《印刷线路板表面污染物分析 俄歇电子能谱》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本标准规定了一种准确测量印刷线路板PCB(printed circuit board)镀金手指表面污染物的方法--俄歇电子能谱法(AES)。本标准适用于具有一定导电性固体表面纳米尺度元素分布的准确测量。

国家标准《俄歇电子能谱仪检定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本标准规定了俄歇电子能谱仪（Auger electron spectrometer）的检定方法。本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。

国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱：人射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域；光电子从样品到分析器人口的过程中经过自由空间；装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。

国家标准《俄歇电子能谱分析方法通则》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。 本标准适用于俄歇电子能谱仪。

国家标准《表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本标准规定了两种方法，用于测定 AES 和 XPS 谱仪强度标在容许线性离散限度范围内的最大计数率。它也包括校正强度非线性的方法，以便那些谱仪可使用更高的最大计数率，对于这些谱仪相关的校正公式已被证明是有效的。

国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息的解析》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本指导性技术文件规定了识别X射线或者电子激发的俄歇谱中的化学效应以及把它们用于化学表征的方法准则。