标准简介
标准号：GB/T 20724-2021
中国标准分类号：N53
标准发布日期：2021-12-31
国际标准分类号：71.040.99
实施日期：2022-07-01
代替标准：GB/T 20724-2006
标准分类：化工技术分析化学有关分析化学的其他标准
标准详情
国家标准《微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。
本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。注： 由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀，用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。
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