检测信息（部分）
电子工业用气体检测主要涉及哪些产品？
电子工业用气体包括高纯气体、特种气体及混合气体等，用于半导体制造、光伏生产、LED封装等工艺环节，例如硅烷、氨气、氩气等。
这类气体的检测用途是什么？
检测用于确保气体纯度、杂质含量及安全性符合电子元器件生产的严苛要求，避免工艺污染或设备故障。
检测通常包含哪些核心内容？
包括气体成分分析、杂质浓度检测、水分含量测定、颗粒物监测及化学稳定性评估等关键指标。
检测项目（部分）
- 气体纯度分析（表征主体成分占比）
- 氧含量检测（影响氧化反应控制）
- 水分含量（ppm级，防止晶圆表面缺陷）
- 总烃含量（避免碳污染沉积）
- 颗粒物浓度（控制洁净室污染源）
- 金属离子检测（防止半导体材料掺杂）
- 酸碱性杂质（确保工艺反应稳定性）
- 卤素化合物（影响蚀刻工艺精度）
- 一氧化碳（监控燃烧工艺副产物）
- 二氧化碳（工艺环境控制指标）
- 氢气浓度（涉及安全性与还原反应）
- 氮氧化物（环境污染物监测）
- 硫化物（防止催化剂中毒）
- 氦气检漏（密封性验证）
- 同位素比例（特定工艺原料溯源）
- 气体密度（输送系统参数校准）
- 临界参数（超纯气体存储条件）
- 爆炸极限（安全生产风险评估）
- 吸附特性（材料兼容性验证）
- 光谱特征（激光工艺气体适配性）
检测范围（部分）
- 高纯氮气
- 电子级氦气
- 硅烷混合气
- 氯化氢气体
- 三氟化氮
- 六氟化钨
- 氖气混合气
- 砷烷
- 磷烷
- 硼烷
- 氟化氪
- 一氧化碳
- 二氧化碳
- 氩气
- 氪气
- 氙气
- 氨气
- 氢气
- 氧气
- 笑气（一氧化二氮）
检测仪器（部分）
- 气相色谱质谱联用仪
- 傅里叶红外光谱仪
- 激光粒子计数器
- 露点分析仪
- 四级杆质谱仪
- 非色散红外分析仪
- 超声波检漏仪
- 化学发光分析仪
- 等离子体质谱仪
- 微量氧分析仪
检测标准（部分）
《 T/DLSHXH 002-2018 电子工业用气体 一氧化氮 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 一氧化氮
-
- 标准号：T/DLSHXH 002-2018
- 中国标准分类号：G86/C266
-
- 发布日期：2018-09-18
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：2018-09-28
- 团体名称：大连市石油和化工行业协会
- 标准分类：G 交通运输、仓储和邮政业
- 内容简介：
本标准规定了电子工业用气体一氧化氮的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求
本标准适用于电子工业用气体一氧化氮
本标准规定了电子工业用气体一氧化氮的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于电子工业用气体一氧化氮。
《 T/DLSHXH 001-2018 电子工业用气体 氨 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 氨
-
- 标准号：T/DLSHXH 001-2018
- 中国标准分类号：G86/C266
-
- 发布日期：2018-09-18
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：2018-09-28
- 团体名称：大连市石油和化工行业协会
- 标准分类：G 交通运输、仓储和邮政业化工技术
- 内容简介：
本标准规定了电子工业用气体氨的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求本标准适用于以工业氨为原料，采用吸附、精馏方法提纯制得的电子工业用气体氨分子式：NH3相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）本标准规定了电子工业用气体氨的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求
本标准适用于以工业氨为原料，采用吸附、精馏方法提纯制得的电子工业用气体氨
分子式：NH3
相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）
《 T/DLSHXH 002-2018 电子工业用气体 -氧化氮 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 -氧化氮
-
- 标准号：T/DLSHXH 002-2018
- 中国标准分类号：G86/C266
-
- 发布日期：2018-09-18
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：2018-09-28
- 团体名称：大连市石油和化工行业协会
- 标准分类：G 交通运输、仓储和邮政业化工技术
- 内容简介：
本标准规定了电子工业用气体一氧化氮的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求本标准适用于电子工业用气体一氧化氮本标准规定了电子工业用气体一氧化氮的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求
本标准适用于电子工业用气体一氧化氮
《 SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 一氧化碳
-
- 标准号：SJ/T 11517-2015
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：2015-04-30
- 国际标准分类号：71.100
-
- 实施日期：2015-10-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
- 代替标准：
- 主管部门：工业和信息化部
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体SJ 电子
- 内容简介：
行业标准《电子工业用气体 一氧化碳》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了一氧化碳的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于甲酸脱水、甲酸甲酯选择分解、木炭还原二氧化碳、甲醇裂解或使用天然气、轻油、重质液态烃、焦炭、煤等含碳物质为原料经过氧化、蒸汽转化或二氧化碳还原等不同工艺过程获得并经精制得到的一氧化碳产品。它在多晶态钻石膜生产中,为化学气相沉积(CVD)工艺过程提供碳源。分子式:CO相对分子质量:28.0101(按2007年国际相对原子质量计算)
《 GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
-
- 标准号：GB/T 15909-2009
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：2009-10-30
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：2010-05-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
- 代替标准：代替GB/T 15909-1995被GB/T 15909-2017代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
国家标准《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。 u3000u3000本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
《 GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 氯化氢
-
- 标准号：GB/T 14602-1993
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：1993-08-26
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：1994-07-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 14602-2014代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
国家标准《电子工业用气体 氯化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。 氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。 分子式：HC1 相对分子质量：36.461（按1989年国际相对原子质量）
《 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 氧化亚氮
-
- 标准号：GB/T 14600-1993
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：1993-08-26
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：1994-07-01
- 技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 14600-2009代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
本标准规定了电子工业用气体--瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮存与运输要求。 本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 分子式：N2O 相对分子质量：44.01（按1989年国际相对原子质量）
《 GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 5N氯化氢
-
- 标准号：GB/T 24469-2009
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：2009-10-15
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：2009-12-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 14602-2014代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
国家标准《电子工业用气体 5N氯化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl相对分子质量:36.46l(按2005年国际相对原子质量)
《 GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 高纯氯
-
- 标准号：GB/T 18994-2003
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：2003-03-05
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：2003-08-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 18994-2014代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
国家标准《电子工业用气体 高纯氯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。 101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。 101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。 101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．980 k9／m3。
《 GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
-
- 标准号：GB/T 18867-2002
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：2002-10-15
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：2003-04-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 18867-2014代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。
《 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 三氯化硼
-
- 标准号：GB/T 17874-1999
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：1999-09-16
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：2000-06-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 17874-2010代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
国家标准《电子工业用气体 三氯化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以粗制三氯化硼为为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
《 GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 氮
-
- 标准号：GB/T 16944-1997
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：1997-08-13
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：1998-05-01
- 技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 16944-2009代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。 氮气化学性质不活泼，不可燃，是一种窒息性气体。 分子式：N。 相对分子质量：28.0134（按1991年国际相对原子质量）。
《 GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 氩
-
- 标准号：GB/T 16945-1997
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：1997-08-13
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：1998-05-01
- 技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 16945-2009代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
本标准规定了电子工业用氩的技术要求、试验方法和包装、标志。 本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩。电子工业用氩气用于系统的吹扫、保护和增压，它还可用于化学气相淀积、溅射，等离子及活性离子 刻蚀剂和退火等不同工艺中。 分子式：Ar 相对分子质量：39.948（按1991年国际相对原子质量）
《 GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 氦
-
- 标准号：GB/T 16943-1997
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：1997-08-13
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：1998-05-01
- 技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 16943-2009代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
本标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。 分子式：He 相对分子质量：4.003（按1991年国际相对原子质量）
《 GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢 》标准简介
- 标准名称：电子工业用气体 氢
-
- 标准号：GB/T 16942-1997
- 中国标准分类号：G86
-
- 发布日期：1997-08-13
- 国际标准分类号：71.100.20
-
- 实施日期：1998-05-01
- 技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
-
- 代替标准：被GB/T 16942-2009代替
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：化工技术化工产品工业气体
- 内容简介：
本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。 本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 分子式：H 相对分子质量：2.016（按1991年国际相对原子质量）
暂无更多检测标准，请联系在线工程师。