标准简介
标准编号：GB/T 39163-2020
标准名称：靶材与背板结合强度测试方法
英文名称：Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
标准发布日期：2020-11-19
实施日期：2021-10-01
标准状态：现行/即将实施
标准格式：PDF
文件页数：15页
起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司
起草人员：丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能、袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军
标准详情
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注： 靶材与背板结合方式包括钎焊(传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等)、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
检测项目（部分）
最大力、结合面积、抗拉强度、抗剪强度、拉伸试样-背板外径、拉伸试样-靶坯外径、拉伸试样-背板内径、拉伸试样-背板厚度、拉仲试样-靶坯厚度、拉伸试样-背板过结合界面余量、拉伸试样-靶坯过结合界面余量、拉伸试验装置垫座外径、拉伸试验装置垫座内径等。
引用标准
GB/T228.12010金属材料拉伸试验第1部分：室温试验方法
GB/T228.2金属材料拉伸试验第2部分：高温试验方法
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T10623金属材料力学性能试验术语
GB/T16825.1静力单轴试验机的检验第1部分：拉力和(或)压力试验机测力系统的检验与校准
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