第三方电子气体材料检测机构北京中科光析科学技术研究所科研分析检测中心可以进行电子大宗气体:氢气、氧气、氮气、氩气、氦气、二氧化碳、掺杂气体:砷化氢、磷化氢、乙硼烷、锗烷、蚀刻及清洗气体:三氟化氮、六氟化硫、四氟化碳、三氟甲烷、氯化氢、氟化氢、沉积前驱体:硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅、六氟化钨、离子注入气:三氟化硼、三氯化硼、八氟环丁烷、光刻气体:氪氟准分子混合气、氩氟混合气、掺杂辅助气体:笑气(氧化亚氮)、氨气等20+项检测。一般7-15天出具电子气体材料检测报告。中析研究所旗下实验室拥有CMA检测资质
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