氦漏性检测

常见问题

氦漏性检测检测需要多长时间？

通常7-15个工作日。具体周期视被测件容积、检测项目数量及所需施加氦气的平衡时间而定，大型真空设备可能需要更长测试周期。

氦漏性检测检测费用大概多少？

根据检测项目数量确定。基础漏率测试与包含多点位定位、不同压力工况下的综合检测费用存在差异，需结合具体测试方案核算。

氦漏性检测检测报告有什么用途？

可用于质量评估、项目验收。中析研究所检测中心报告可用于产品出厂检验、科研课题结题及工程招投标。

氦漏性检测对被测件有什么特殊要求？

被测件表面需清洁干燥，无油污及密封胶残留，且需具备可供抽真空或充气的标准接口，以免影响示踪气体的扩散与信号采集。

检测方法

• 真空喷吹法：在被测件外部喷吹氦气，内部抽真空连接检漏仪，适用于真空系统整体检漏。
• 吸枪法：被测件内部充入加压氦气，使用吸枪探头在表面扫描定位漏孔，适用于正压密封件。
• 背压法：将被测件置于高压氦气舱内加压充氦，取出后放入真空室检测内部逸出的氦气，适用于电子元器件。
• 累积法：将被测件置于密闭罩内充氦，测量罩内氦气浓度随时间的增加值以计算极小漏率。
• 钟罩法：将被测件整体放入真空钟罩内，通过抽真空测定其总漏率，适用于小型密封件。
• 探头扫描法：结合吸枪原理，对复杂管道焊缝进行逐点扫描定位泄漏点。
• 压力衰减法辅助检漏：先通过压降法粗测整体密封性，再使用氦检漏精确定位。
• 双向检漏法：分别从被测件内外两侧施加氦气进行检测，以判定双向密封能力。
• 多通道检漏法：使用具有多个接口的检漏仪同时对多个被测件进行并行测试。
• 动态检漏法：在真空泵持续抽气状态下进行氦气检漏，适用于大型真空设备的快速筛查。

检测范围

• 高真空腔室
• 真空镀膜设备
• 半导体晶圆制造设备
• 核反应堆压力容器
• 航天器推进剂贮箱
• 航空液压阀门
• 制冷压缩机壳体
• 电子元器件封装外壳
• 锂电池密封壳体
• 医用高压氧舱
• 真空管路接头
• 波纹管膨胀节
• 真空法兰密封件
• 汽车空调蒸发器
• 变压器储油柜
• 光缆接头盒
• 防水手表表壳
• 心脏起搏器钛壳
• 真空干燥箱
• 低温液体储罐
• 液化天然气管道
• 光纤激光器谐振腔

检测标准（部分）

• T/CATSI 02010-2022 气瓶气密性氦泄漏检测方法
• T/CS 419-2026 特气柜气密性氦质谱检漏试验方法
• NB/T 20568-2019 核电厂主控室可居留性内漏试验
• EJ/Z 4-1978 容器与设备氦罩法真空漏量试验规程
• CY/T 104.9-2014 印刷技术 纸和纸板印刷适性测试方法 第9部分：凹印网点漏印
• T/GDCKCJH 046-2021 氦质谱检漏仪性能要求与检测方法
• KS K ISO 17491-2-2017 보호복－화학 약품에 대한 보호복 시험방법－제2부：에어로졸 및 기체의 내부 누출에 대한 저항성 측정
• NACE RP0188-99 Discontinuity (Holiday) Testing Of Protective Coatings
• NACE SP0188-2006 Discontinuity (Holiday) Testing of New Protective Coatings on Conductive Substrates
• ASTM F134-85(1990) Test Methods for Determining Hermeticity of Electron Devices with a Helium Mass Spectrometer Leak Detector (Withdrawn 1996)
• ASTM D5162-21 Standard Practice for Discontinuity (Holiday) Testing of Nonconductive Protective Coating on Metallic Substrates
• IEC 61788-8:2010 Superconductivity - Part 8: AC loss measurements - Total AC loss measurement of round superconducting wires exposed to a transverse alternating magnetic field at liquid helium temperature by a pickup coil method
• KS C IEC 61788-8(2025 Confirm)(2025) 초전도 — 제8부: 교류손실 측정 —액체헬륨 온도에서 픽업코일방법으로 횡단교류자기장이 작용하는 원형 초전도선의 총 교류손실 측정
• KS C IEC 61788-8-2020(2025) 초전도 — 제8부: 교류손실 측정 —액체헬륨 온도에서 픽업코일방법으로 횡단교류자기장이 작용하는 원형 초전도선의 총 교류손실 측정
• KS C IEC 61788-8-2020 초전도 — 제8부: 교류손실 측정 —액체헬륨 온도에서 픽업코일방법으로 횡단교류자기장이 작용하는 원형 초전도선의 총 교류손실 측정
• KS C IEC 61788-8 초전도 — 제8부: 교류손실 측정 —액체헬륨 온도에서 픽업코일방법으로 횡단교류자기장이 작용하는 원형 초전도선의 총 교류손실 측정

检测信息

氦漏性检测是一种利用氦气作为示踪气体，通过质谱分析技术来检测和定位真空系统、密封容器、阀门管道及相关工业组件中微小泄漏的无损检测方法，广泛应用于航空航天、核工业、电子元器件及制冷设备等领域。

检测目的在于定量评估被测件的密封性能，确保其在工作压力下不会因泄漏导致功能失效或安全隐患，主要涉及吸枪法、真空法及背压法等质谱分析技术手段。

检测流程通常包括被测件预处理、连接检漏仪接口、充入或抽吸示踪气体、采集质谱信号并计算漏率值，核心参数为标准漏率，通常以Pa·m³/s或mbar·L/s表示。

氦漏性检测检测项目

• 真空法漏率：判定被测件在抽真空状态下内部向外部泄漏的气体量是否符合标准限值。
• 吸枪法漏率：用于定位被测件充入高压氦气后外部具体漏孔位置及漏率大小。
• 背压法漏率：评估微小电子元器件在加压充氦后内部封腔的密封完整性。
• 总漏率：衡量整个密封系统所有漏孔泄漏量之和是否满足系统运行要求。
• 单点漏率：针对特定焊缝或密封接头进行局部泄漏定量判定。
• 检漏仪本底噪音：确认测试环境及仪器基线信号是否低于很小可检漏率要求。
• 标准漏率校准：使用渗透型标准漏孔对检漏仪输出信号进行标定以保证数据准确性。
• 系统响应时间：测定氦气从漏孔进入到检漏仪显示稳定读数所需的时间以判定测试效率。
• 清除时间：评估检漏仪停止施加氦气后信号回落到本底值的时间以判断测试连续性。
• 很小可检漏率：判定检漏系统在当前工况下能检测到的极限泄漏量阈值。
• 阀门密封漏率：验证阀门在关闭状态下阀座与阀瓣间的密封阻断能力。
• 焊缝密封性：检测金属熔焊或钎焊焊缝区域是否存在贯穿性微小缺陷。
• 密封圈泄漏：评估O型圈或垫片在受压状态下的压缩变形密封效果。
• 压差保持率：通过监测充气后压力随时间的衰减情况辅助判定整体密封等级。
• 累积法漏率：在封闭空间内收集泄漏氦气以测定极低漏率的特殊判定指标。
• 抽空速率匹配性：确认真空泵抽速与被测件容积匹配以避漏信号失真。
• 示踪气体浓度：判定充入被测件内部的氦气浓度百分比是否满足检出要求。
• 外部环境氦本底：监测测试场地空气中氦气浓度以排除环境干扰导致的误判。
• 阻漏性能：评估密封件在变温或振动工况下维持阻挡气体渗透的能力。
• 气密性等级：依据漏率测试结果对被测件进行Q1至Q4等密封等级的归类判定。

总结

氦漏性检测是利用氦气作为示踪气体评估各类密封容器与真空系统泄漏率的检测技术，覆盖漏率测量、漏孔定位等核心内容。中析研究所检测中心出具的检测报告可用于产品质量控制及工程验收，常规检测周期为7-15个工作日。