检测信息(部分)
什么是合金靶材?
合金靶材是由两种或多种金属元素通过特定工艺合成的材料,通常以板材或溅射靶形式存在,用于物理气相沉积(PVD)等表面涂层技术。
合金靶材的主要用途有哪些?
合金靶材广泛应用于半导体、显示面板、光伏电池、工具镀膜及光学薄膜等领域,通过溅射工艺形成功能性薄膜层。
检测涵盖哪些方面?
检测包括成分分析、物理性能、微观结构、杂质含量及表面质量等,确保靶材的均匀性、纯度及工艺适用性。
检测项目(部分)
- 成分分析(精确测定各金属元素含量比例)
- 密度(评估材料致密性与工艺适配性)
- 硬度(反映靶材抗变形能力)
- 晶粒尺寸(影响溅射速率与薄膜均匀性)
- 氧含量(控制杂质以避免薄膜性能劣化)
- 热膨胀系数(评估材料高温稳定性)
- 电阻率(关联薄膜导电性能)
- 表面粗糙度(影响涂层附着力与均匀性)
- 微观孔隙率(检测内部结构的致密性)
- 抗拉强度(衡量材料机械性能)
- 磁性能(针对磁性合金靶材的关键参数)
- 溅射速率(评估靶材工艺效率)
- 杂质元素分析(控制有害元素如硫、氯含量)
- 晶界分布(分析微观结构均匀性)
- 残余应力(预防靶材开裂或变形)
- 耐腐蚀性(评估材料环境适应性)
- 热导率(影响溅射过程热管理)
- 相组成(确定合金相的分布与稳定性)
- 厚度均匀性(保障溅射薄膜一致性)
- 表面缺陷检测(识别裂纹、气孔等异常)
检测范围(部分)
- 钛铝合金靶材
- 铜镍合金靶材
- 钴基合金靶材
- 镍铬合金靶材
- 钨钛合金靶材
- 钽铝合金靶材
- 锌锡合金靶材
- 银钯合金靶材
- 铁基合金靶材
- 锆基合金靶材
- 铌基合金靶材
- 金基合金靶材
- 钼钛合金靶材
- 稀土合金靶材
- 不锈钢合金靶材
- 铂铱合金靶材
- 铝镁合金靶材
- 锌铝合金靶材
- 铟锡合金靶材
- 铅基合金靶材
检测仪器(部分)
- X射线荧光光谱仪(XRF)
- 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
- 扫描电子显微镜(SEM)
- 透射电子显微镜(TEM)
- 万能材料试验机
- 显微硬度计
- 原子力显微镜(AFM)
- X射线衍射仪(XRD)
- 激光粒度分析仪
- 热分析仪(TGA/DSC)
检测标准(部分)
《 GB/T 23611-2023 金及金合金靶材 》标准简介
- 标准名称:金及金合金靶材
-
- 标准号:GB/T 23611-2023
- 中国标准分类号:H68
-
- 发布日期:2023-08-06
- 国际标准分类号:77.150.99
-
- 实施日期:2024-03-01
- 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
-
- 代替标准:GB/T 23611-2009
- 主管部门:中国有色金属工业协会
- 标准分类:冶金有色金属产品其他有色金属产品
- 内容简介:
国家标准《金及金合金靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材(以下简称“靶材”)。
《 XB/T 515-2020 钪铝合金靶材 》标准简介
- 标准名称:钪铝合金靶材
-
- 标准号:XB/T 515-2020
- 中国标准分类号:H65
-
- 发布日期:2020-12-09
- 国际标准分类号:77.120.99
-
- 实施日期:2021-04-01
- 技术归口:
-
- 代替标准:
- 主管部门:工业和信息化部
- 标准分类:制造业冶金有色金属其他有色金属及其合金稀土
- 内容简介:
行业标准《钪铝合金靶材》,主管部门为工业和信息化部。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。
《 YS/T 1129-2016 钨钛合金靶材 》标准简介
- 标准名称:钨钛合金靶材
-
- 标准号:YS/T 1129-2016
- 中国标准分类号:H72
-
- 发布日期:2016-07-11
- 国际标准分类号:77.160
-
- 实施日期:2017-01-01
- 技术归口:
-
- 代替标准:
- 主管部门:工业和信息化部
- 标准分类:冶金有色金属粉末冶金
- 内容简介:
行业标准《钨钛合金靶材》,主管部门为工业和信息化部。
《 YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材 》标准简介
- 标准名称:集成电路器件用镍钒合金靶材
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- 标准号:YS/T 936-2013
- 中国标准分类号:H62
-
- 发布日期:2013-10-17
- 国际标准分类号:77.150.40
-
- 实施日期:2014-03-01
- 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
-
- 代替标准:
- 主管部门:工业和信息化部
- 标准分类:冶金有色金属产品有色金属镍和铬产品
- 内容简介:
行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
《 GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材 》标准简介
- 标准名称:集成电路用高纯铜合金靶材
-
- 标准号:GB/T 39159-2020
- 中国标准分类号:H62
-
- 发布日期:2020-11-19
- 国际标准分类号:77.150.30
-
- 实施日期:2021-10-01
- 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
-
- 代替标准:
- 主管部门:中国有色金属工业协会
- 标准分类:冶金有色金属产品铜产品
- 内容简介:
国家标准《集成电路用高纯铜合金靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC2(全国有色金属标准化技术委员会重金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
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检测优势
检测资质(部分)




检测实验室(部分)
合作客户(部分)





检测报告作用
1、可以帮助生产商识别产品的潜在问题或缺陷,并及时改进生产工艺,保障产品的品质和安全性。
2、可以为生产商提供科学的数据,证明其产品符合国际、国家和地区相关标准和规定,从而增强产品的市场竞争力。
3、可以评估产品的质量和安全性,确保产品能够达到预期效果,同时减少潜在的健康和安全风险。
4、可以帮助生产商构建品牌形象,提高品牌信誉度,并促进产品的销售和市场推广。
5、可以确定性能和特性以及元素,例如力学性能、化学性质、物理性能、热学性能等,从而为产品设计、制造和使用提供参考。
6、可以评估产品是否含有有毒有害成分,以及是否符合环保要求,从而保障产品的安全性。
检测流程
1、中析研究所接受客户委托,为客户提供检测服务
2、客户可选择寄送样品或由我们的工程师进行采样,以确保样品的准确性和可靠性。
3、我们的工程师会对样品进行初步评估,并提供报价,以便客户了解检测成本。
4、双方将就检测项目进行详细沟通,并签署保密协议,以保证客户信息的保密性。在此基础上,我们将进行测试试验.
5、在检测过程中,我们将与客户进行密切沟通,以便随时调整测试方案,确保测试进度。
6、试验测试通常在7-15个工作日内完成,具体时间根据样品的类型和数量而定。
7、出具检测样品报告,以便客户了解测试结果和检测数据,为客户提供有力的支持和帮助。
以上为合金靶材检测的检测内容,如需更多内容以及服务请联系在线工程师。