标准简介（可根据此标准检测）
| 标准号 | GB/T 41652-2022 | 标准名称 | GB/T 41652-2022 |
| 发布日期 | 2022-07-11 | 实施日期 | 2023-02-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 执行单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 | 主管部门 | 国家标准化管理委员会 |
| 中国标准分类 | H82 | ||
| 国际标准分类 | 29.045 | ||
| 起草人 | 库黎明、孙燕、夏秋良、潘金平、闫志瑞、张果虎 | ||
| 起草单位 | 有研半导体硅材料股份公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。 本文件适用于p<100>拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200mm~450mm的硅电极及硅环。 | ||
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