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《 T/CATSI 09010-2021 光学真空腔体洁净度检测规范 》标准简介
- 标准名称：光学真空腔体洁净度检测规范
- 标准号：T/CATSI 09010-2021
- 中国标准分类号：C404
- 发布日期：2021-08-25
- 国际标准分类号：17.180.01
- 实施日期：2021-08-25
- 团体名称：中国技术监督情报协会
- 标准分类：C 制造业计量学和测量、物理现象
- 内容简介：
第3章 术语、定义和缩略语为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语
第4章真空腔体污染物本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等
第5章洁净度标准本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求
第6章检测准备本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求
第7章检测与结果本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求
附录A附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔ARGA质谱结果示例、腔BRGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例
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