硅片检测,硅片检测标准

本文件规定光伏硅片多线切割机的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于光伏硅片多线切割机的设计、生产和检验。

本文件规定了光伏硅片产品质量及企业标准水平评价的基本要求、评价指标及要求、评价方法及等级划分。本文件适用于单晶硅光伏硅片，多晶硅光伏硅片可参考使用。本文件用于光伏硅片产品质量和企业标准水平评价，相关机构开展质量分级和企业标准水平评估、“领跑者”产品评价以及相关认证或评价时可参照使用，相关企业在制定企业标准时也可参照使用。

国家标准《硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

本文件规定了化学腐蚀后用金相显微镜检测硅片流动图形缺陷的方法。本文件适用于电阻率大于1Ω·cm的硅片流动图形缺陷的检测。

本文件规定了掺镓硅片技术生产管理办法的一般要求、生产要求、人员要求、现场管理

本文件适用于掺镓硅片技术生产管理

本文件规定了光伏硅片切割用电镀金刚石线（以下简称金刚石线）的术语和定义、产品规格、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存以及废旧金刚石线的处理

本文件适用于光伏单晶硅、多晶硅硅片切割用金刚石线

本文件规定了光伏电池片用光伏晶体硅片（以下简称硅片）的要求、检验方法、检验规则、包装、运输、贮存、质量证明书

本文件适用于光伏直拉单晶硅片及铸造多晶硅片,类单晶硅片参照单晶硅片

本标准规定了硅片用金刚石切割线的术语和定义、产品规格、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量承诺

本标准适用于标称直径为0.065mm、0.060mm、0.055mm的硅片用电镀金刚石切割线（以下简称金刚石切割线）

本标准规定了光伏用晶体硅片绿色设计产品的评价要求、评价方法，以及产品生命周期评价报告的编制方法

本标准适用于地面光伏用晶体硅硅片

本标准规定了光伏用晶体硅片制造业绿色工厂评价（以下简称“评价”）的评价原则、评价方法、评价要求、评价程序及评价报告的编写等

本标准适用于制备地面光伏用晶体硅硅片的工厂

地方标准《硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额》，主管部门为上海市市场监督管理局。

地方标准《太阳电池用单晶硅片检验规则》由陕西省工业和信息化厅归口上报，主管部门为陕西省市场监督管理局。本标准适用于太阳电池用电池用单晶硅片（以下简称鬼片）的检验

地方标准《太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片》，主管部门为河北省质量技术监督局。

行业标准《硅片切割废液处理处置方法》由全国废弃化学品处置标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了硅片切割废液(浆)的组成、处理处置方法、环保排放要求。本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液(浆)的处理处置。

行业标准《硅片边缘轮廓检验方法》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅片边缘轮廓(包含切口)的检验方法。本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓(包含切口)，砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。

行业标准《太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)和电池片的在线光致发光分析方法。本标准适用于太阳能电池用硅片和电池片，在采用本标准提供的测试方法测试其他类型的样品之前，需由供需双方协商确定。